Un prosesadó di plasma ta un aparato ku ta wòrdu usá pa prosesamentu di plasma. Su struktura ta konsistí di e siguiente komponentenan prinsipal:
Kamber di descarga: E kamber di descarga ta e komponente di núkleo di un prosesadó di plasma. E ta uza e camponan halto di voltahe di AC of frecuencia di radio pa causa descarga di gas, formando asina plasma. E kamber di descarga ta tipicamente traha di materialnan isolante manera ceramica of glas.
Kamber di trabou: E kamber di trabou ta e lugá prinsipal pa prosesamentu di material. Diferente efektonan di prosesamentu ta wòrdu logra dor di kontrolá diferente parameter di gas, preshon, i energia. E kamber di trabou ta tipikamente trahá di materialnan ku bon propiedatnan di seyamentu di vakuo, manera metal òf serámika.
Sistema di evacuacion: E sistema di vacuum ta wordo uza pa saca e gas for di e camber di trabou pa crea un ambiente di vacuum durante e procesamento. E sistema di vakuo tipikamente ta konsistí di un pomp di vakuo i sistema di kòntròl relashoná.
Haltu- suministro di koriente di frekuensia: E suministro di koriente di frekuensia haltu ta duna energia na e prosesadó di plasma, ionizando e gas pa forma plasma pa medio di un kampo eléktriko haltu di -}} di frekuensia di frekuensia. E suministro di koriente di frekuensia haltu tipikamente ta konsistí di komponentenan elektróniko i sistemanan di kòntròl relashoná.
Sistema di kòntròl outomatiko: E sistema di kòntròl outomatiko ta kontrolá henter e proseso di prosesamentu di plasma, inkluyendo e ambiente di parameter, kontrol di tempu di prosesamentu, i monitoreo di nivel di vakuo. E sistema di kòntròl outomatiko tipikamente ta konsistí di un kòmpiuter i software di kòntròl relashoná.
Ademas, procesadornan di plasma ta ekipa cu un sistema di suministro di gas pa suministra e gasnan necesario na e camber di descarga. E sistema aki tipicamente ta consisti di un cilinder di gas, un regulador di presion, un controlador di fluho, y otro componentenan.
Den resumen, e struktura di un prosesadó di plasma ta inkluí e kamber di deskargo, un kamber di trabou, un sistema di vakuo, un nivel di fuente di energia di frekuensia haltu, i un sistema di kòntròl outomatiko. E operashon koordina di e komponentenan aki ta permití e prosesadó di plasma indusí vários reakshon físiko i kímiko riba e superfisie di material, logrando asina e tratamentu deseá.